无尘车间里常年恒温,几乎察觉不到时间的流逝。
数十个日夜过去,龙芯联合实验室的封闭攻关终于走到了出片环节。
洁净间外,张扬穿着全套防静电服,站在宽大的观察窗前。
窗内正在进行最后一道精细化学机械抛光工序。
大型抛光机低声运转。
“清洗液浓度确认完毕。”
“抛光垫压力参数正常。”
两名测试工程师先后报出数据。
梁博士守在机器旁,“启动末道超纯水清洗程序。”
机械臂平稳运转,高压喷嘴喷出的水流化成细密水雾。
几分钟后,机器指示灯由红转绿。
首批八英寸晶圆沿着产线送出,稳稳落入特制承载盒。
银灰色硅片映着车间顶部的冷光,透出规整而利落的工业质感。
观察窗外,张扬被现场的气氛感染,也变得十分紧张。
“出片了!”孙老大喊一声。
“快,送电子显微镜测试台!”梁博士大步赶到承载盒前。
他亲手捧起盒子,动作轻得不能再轻,脚下却走得飞快。
众人跟着进入旁边的无尘检测室。
晶圆被放上高倍电子显微镜的真空载物台。
“接通成像系统。”
墙上的显示屏起,画面很快变得清晰。
纳米级沟道纵横交错,晶体管单元排列成一片规整的微观阵列,层层结构彼此咬合。
“张总,您看这处门电路结构。”梁博士指向屏幕上放大的区域。
张扬仔细看了几秒,“金属层沉积得很饱满。”
“没有越界,也没有模糊毛边。”梁博士的手指控制不住地颤抖。
他扭头看向负责测量的工程师。
“测量特征尺寸,马上!”
工程师十指飞快敲击键盘,调出标尺工具,卡在一条沟道两端。
“报告梁总,特征尺寸落在二十八纳米!”
他盯着测量结果,又核对了一遍。
“偏差在容差范围内!”
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