飘天文学>重生08，从高考状元到世界首富 > 第1247章 晶圆初成（第1页）
第1247章 晶圆初成（第1页）
张扬走到两人面前。
两位技术泰斗转头看了过来。
“张总？您怎么半夜过来了？”梁博士看到张扬明显一愣。
“前线打仗，我这个送粮草的，哪能在后面睡大觉。”
张扬走到测试台前，扫了眼屏幕上密密麻麻的报错代码。
“孙老，梁老，卡在哪儿了？”
孙老叹了口气，把图纸摊到桌面上。
“张总，咱们自主研制的这台ArF准分子激光器，前面的三百九十九次试错都走过来了，惰性气体纯化也做到了极限。”
“现在卡在最后一道坎。”
孙老指向图纸上的核心光路区。
“想达到光刻机需要的高功率曝光标准，脉冲能量必须上去，可能量一上去，衰减度就压不住，刚才的测试，波动幅度达到百分之一。”
“百分之一不行。”梁博士接过话，“阿斯麦要求控制在百分之零点五以内，否则刻出的电路纹路全是毛边。”
“按梁博士说的，提高气体纯度呢？”张扬看向孙老。
“功率能上去，可镜组烧蚀的风险也会大增。”孙老指着图纸，满脸心疼，“这套高精度镜片，工艺水平相当于蔡司同级产品，造价两千多万，真烧了，几分钟就能报废。”
张扬没有丝毫犹豫犹豫，想要搞研发，哪里能舍不得钱。
“孙老，别把两千万放在心上。”
他看着这位老科研工作者。
“扬天产业基金批给你们的研发额度没有上限，别说报废一套镜组，就算今晚烧掉十套，只要能摸到临界点，就算赚了。”
孙老听到这话眼眶发红。
他干了一辈子科研，从前为了几万元项目经费都要向上级打报告，材料也得掰着手指头计算着用。
如今遇上这么一个不把钱当回事的老板，压在心里的顾虑终于彻底。
“好！”
孙老咬了咬牙。
“既然张总发话，今天就放开手脚干一场，惰性气体浓度上调零点二！”
几名操作工程师精神振作，迅速在控制面板上输入指令。
“气体浓度调整完成！”
“高压放电腔预热完成！”
“光学谐振腔校准进入最后阶段！”
测试靶区的气氛凝重的快要溢出来。
所有人隔着防爆玻璃，盯住里面那台金属设备。
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