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第333章研发光刻机

芯片光刻机，也就是掩模对准曝光机，原理其实类似底片重印，利用光刻机发出的光，通过具有图形的光罩，对涂有光刻胶的薄片（就是掩膜）曝光，光刻胶见光后会发生性质变化，使光罩上的图形复印到薄片上，从而让薄片具有电子线路图的作用。

说穿了，光刻机也不过是个机器，只要母机精度足够，有合适的控制系统，而国内激光水平一直不错，再找到尼康的高级镜头，就没有造不出来的！

而印刷线路图必须用掩膜版，掩膜刻蚀的精度，决定了芯片的精度。

这个国内一直都在用六七十年代的进口设备和材料，已经不太先进，想赶超386，也要升级换代。

掩膜是用激光直写机，在掩膜基板上涂上光学膜和其他化学试剂，进行刻蚀的。采用激光为辐射源的直写光刻设备领域，

激光直写机的主要厂商为瑞典Mycronic、德国Heidelberg等企业，其中瑞典Mycronic处于全球领先地位。

而基板必须做到绝对平整光滑，

有石英版、玻璃版、金属版等几种，

70年代以后，用的大都是合成石英版。

是用SiCI4作为原料，采用气相沉积生产合成的。

其原理，先生产易挥发的液体SiCI4，

在在载料气体的带动下，进入氢气氧气燃烧气中，

与水蒸气反应生成不定型二氧化硅，

然后并沉积在高温旋转的靶材上，

最终熔化形成高纯石英玻璃。

这种合成石英，具有宽的光投射铝区域，低的杂质含量和少的物理缺陷的特性。

这方面，东洋的信越化学和东曹石英是领军。

作为大国，我国也有一家重要厂商，就是沙市石英玻璃总厂，属原建材部九家重点石英玻璃生产厂家之一。

改制后，这个厂叫做菲利华，是一家上市公司，是全球少数几家能生产石英纤维，也就是光纤的公司之一，也是国内唯一能够量产合成石英光掩模基板的公司。

此外还有一种苏打玻璃铬板技术，是六十年代的技术，441所一直在用，但以后肯定是要淘汰的。

根据木桶原理，漏水总在有短板的地方，

刘光福决定，一定要在掩板和光刻机两条腿走路，齐头并进，一起发展。

可是，大多数人现在还认识不到未来科技发展方向。

比如沙市石英玻璃总厂，是未来的光纤科技领域，更是不可或缺的，现在居然归建材部管辖。

刘光福跟老侯说了，想要把这家厂子划归电子部管辖。

这当然不容易，但也不是不能，过去几个部和中科院的科研院所，经常在会上被划来划去，

现在虽然讲效益了，只要做通了工作，也可以通过部委结算后划归想买的部门。

刘光福，首先带着傻柱，还有老侯去找大领导。

傻柱已经被鬼大人放回来了，跟娄晓娥在香江也登记结了婚。

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